Типовые ошибки
- использовать вакуумметр вне рабочего диапазона;
- ставить датчик далеко от контролируемого объема и не учитывать проводимость линии;
- оценивать течь до стабилизации насоса и системы;
- не учитывать загрязнение масла, фильтров и датчиков;
- сравнивать показания без учета газа и температуры.
Слушатель должен объяснять, почему измерение давления не равно измерению потока течи без модели объема и времени.
Основа материала
Грошковский; Handbook of Vacuum Technology; модуль 5