Что проверять
- объем контролируемой полости;
- интервал времени и стабильность температуры;
- начальное и конечное давление;
- допустимый поток течи и единицы измерения;
- влияние десорбции и натекания через оснастку.
Метод подходит для интегральной оценки, но плохо локализует место течи без дополнительных операций.
Основа материала
Измерение состояния вакуума; модуль 8